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电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制

文献类型:期刊论文

刊名激光技术
出版日期2017
卷号000
关键词激光器 电磁辐射 屏蔽技术 近场探头 准分子激光
ISSN号1001-3806
其他题名Electromagnetic radiation and inhibition of electric excitation excimer laser systems
英文摘要为了抑制电激励准分子激光系统产生的强电磁干扰,采用电磁辐射理论分析了准分子激光器电磁辐射机理,确定了激光器辐射干扰源主要来源于激光器的主放电回路、出光口和氢闸流管;采用近场探头分别对各关键部位不同距离电磁辐射进行了测试;结合测试结果与电磁屏蔽原理对激光器电磁辐射进行了屏蔽设计和屏蔽效能测试,针对准分子激光系统,提出了抑制电磁干扰的几种措施。结果表明,设计的屏蔽盒的屏蔽效能达到40d B;引入电磁干扰抑制措施后,准分子激光系统能稳定可靠工作。该研究满足了工程实际要求。
语种中文
CSCD记录号CSCD:6033635
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/56162]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
. 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制[J]. 激光技术,2017,000.
APA (2017).电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制.激光技术,000.
MLA "电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制".激光技术 000(2017).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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