Design and fabrication of a SiN-Si dual-layer optical phased array chip
文献类型：期刊论文
| 作者 | Pengfei Wang; Guangzhen Luo; Yang Xu; Yajie Li; Yanmei Su; Jianbin Ma; Ruiting Wang; Zhengxia Yang; Xuliang Zhou; Yejin Zhang; Jiaoqing Pan |
| 刊名 | PHOTONICS RESEARCH
 |
| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 8期号:6页码:912-919 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30261]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Pengfei Wang; Guangzhen Luo; Yang Xu; Yajie Li; Yanmei Su; Jianbin Ma; Ruiting Wang; Zhengxia Yang; Xuliang Zhou; Yejin Zhang; Jiaoqing Pan. Design and fabrication of a SiN-Si dual-layer optical phased array chip[J]. PHOTONICS RESEARCH,2020,8(6):912-919. |
| APA | Pengfei Wang; Guangzhen Luo; Yang Xu; Yajie Li; Yanmei Su; Jianbin Ma; Ruiting Wang; Zhengxia Yang; Xuliang Zhou; Yejin Zhang; Jiaoqing Pan.(2020).Design and fabrication of a SiN-Si dual-layer optical phased array chip.PHOTONICS RESEARCH,8(6),912-919. |
| MLA | Pengfei Wang; Guangzhen Luo; Yang Xu; Yajie Li; Yanmei Su; Jianbin Ma; Ruiting Wang; Zhengxia Yang; Xuliang Zhou; Yejin Zhang; Jiaoqing Pan."Design and fabrication of a SiN-Si dual-layer optical phased array chip".PHOTONICS RESEARCH 8.6(2020):912-919. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。