Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching
文献类型：期刊论文
| 作者 | Lihao Wang; Meijie Liu ; Junyuan Zhao ; Jicong Zhao ; Yinfang Zhu; Jinling Yang; Fuhua Yang |
| 刊名 | MICROMACHINES
 |
| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 11期号:7页码:638 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30469]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Lihao Wang; Meijie Liu ; Junyuan Zhao ; Jicong Zhao ;Yinfang Zhu;Jinling Yang; Fuhua Yang. Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching[J]. MICROMACHINES,2020,11(7):638. |
| APA | Lihao Wang; Meijie Liu ; Junyuan Zhao ; Jicong Zhao ;Yinfang Zhu;Jinling Yang; Fuhua Yang.(2020).Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching.MICROMACHINES,11(7),638. |
| MLA | Lihao Wang; Meijie Liu ; Junyuan Zhao ; Jicong Zhao ;Yinfang Zhu;Jinling Yang; Fuhua Yang."Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching".MICROMACHINES 11.7(2020):638. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。