光学元件缺陷在线检测光学系统设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张文学[1,2,3]; 王继红[1,2,3]; 任戈[1,2,3] |
| 刊名 | 应用光学
 |
| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 40期号:5页码:779-785 |
| 关键词 | 光学元件 在线检测 变焦距光学系统 环境适应性分析 |
| DOI | 10.5768/jao201940.0501010 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 为实现对望远镜系统中光学元件表面缺陷在线检测,介绍了一种用于光学元件表面缺陷检测的变焦距成像光学系统,采用机械变焦形式实现变焦功能。根据望远镜系统技术要求计算出变焦距系统的关键参数,通过Zemax软件设计并优化得到最终结果,整个变焦系统的设计实现了90mm~540mm的6倍变焦,在变焦过程中F数和像面位置保持不变,变焦系统总长为553.1mm。从调制传递函数(MTF)、点列图2个方面分析了系统的成像质量,系统在各焦距处的MTF值在100lp/mm处均大于0.3,物方分辨率优于0.055mm,在不同焦距处弥散斑半径均方根值均控制在艾里斑半径范围内。最后对系统环境适应性进行了分析,讨论了工作温度范围为-10℃~40℃时对系统成像质量的影响,并给出了温度补偿方案。实验结果表明,补偿后的系统成像质量良好,满足实际需求。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9876]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电工程总体研究室（一室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学,北京100049 2.中国科学院光电技术研究所,四川成都610209 3.中国科学院光束控制重点实验室,四川成都610209 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张文学[1,2,3],王继红[1,2,3],任戈[1,2,3]. 光学元件缺陷在线检测光学系统设计[J]. 应用光学,2019,40(5):779-785. |
| APA | 张文学[1,2,3],王继红[1,2,3],&任戈[1,2,3].(2019).光学元件缺陷在线检测光学系统设计.应用光学,40(5),779-785. |
| MLA | 张文学[1,2,3],et al."光学元件缺陷在线检测光学系统设计".应用光学 40.5(2019):779-785. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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