圆光栅编码器测角误差源及频谱分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 任曦[1,2,3]; 杜升平[1,2,3]; 陈科[1,2,3]; 王继红[1,2,3] |
| 刊名 | 激光与光电子学进展
 |
| 出版日期 | 2020-09-10 |
| 卷号 | 57期号:17页码:171205-1-8 |
| 关键词 | 测量 圆光栅 误差源分析 谐波误差 误差补偿 傅里叶分析 |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| DOI | 10.3788/LOP57.171205 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 为提高圆光栅编码器测角精度、满足角秒甚至亚角秒级的精度测量需求,分析了影响其角度测量精度的误差来源,针对性地提出了多读数头读数平均法的补偿方法,进而控制误差源。根据圆光栅测角原理,分析了光栅系统刻化误差、读数头细分误差、光栅安装偏心误差、安装形变误差、轴晃误差等误差来源,从频域的角度分析了各个误差的频谱,根据误差源分析,可采用多读数头读数平均法的补偿方法。实验结果表明,在偏心误差约为15″、光栅形变误差约为1.5″的条件下,采用4读数头平均法实测的测角误差优于0.8″,大幅提高了圆光栅测角精度。 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/10011]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电工程总体研究室（一室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学,北京101408 2.中国科学院光电技术研究所,四川成都610209 3.中国科学院光束控制重点实验室,四川成都610209 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任曦[1,2,3],杜升平[1,2,3],陈科[1,2,3],等. 圆光栅编码器测角误差源及频谱分析[J]. 激光与光电子学进展,2020,57(17):171205-1-8. |
| APA | 任曦[1,2,3],杜升平[1,2,3],陈科[1,2,3],&王继红[1,2,3].(2020).圆光栅编码器测角误差源及频谱分析.激光与光电子学进展,57(17),171205-1-8. |
| MLA | 任曦[1,2,3],et al."圆光栅编码器测角误差源及频谱分析".激光与光电子学进展 57.17(2020):171205-1-8. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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