高衍射效率连续面形分束器的设计与制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘文静[1,2,3]; 庞辉[1]; 曹阿秀[1]; 吴育娟[1]; 史立芳[1]; 付永启[2]; 邓启凌[1] |
| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2019-07-01 |
| 卷号 | 48期号:7页码:9-16 |
| 关键词 | [825352]衍射 二元光学 Gerchberg-Saxton算法 移动掩模技术 [825497]衍射光学元件 分束器 |
| ISSN号 | 1004-4213 |
| DOI | 10.3788/gzxb20194807.0722002 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 为了解决目前光学分束器件衍射效率低的问题,在传统的Gerchberg-Saxton(GS)算法基础上,对初始相位和迭代算法中的振幅限制方式作改进.先利用二次相位来作为迭代算法的初始相位,再在迭代过程中将输出平面分为信号区和噪音区两部分,保持这两部分的相位不变,信号区内振幅乘上一个随迭代次数不断变化的因子,噪音区内振幅保持不变.通过该方法设计9×9连续面形的分束器件,并与传统GS算法设计的分束器进行了对比,结果表明:GS算法设计得到的分束器相位存在严重的突变和不连续等问题,而本文方法设计得到的分束器相位连续平滑,可利用移动掩模技术加工.最终制备出1×3和1×9分束器,其实测的衍射效率分别为83.5%和89.4%,均匀性误差分别为3.56%和15.23%. |
| 语种 | 中文 |
| 出版者 | Chinese Optical Society |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9849]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学,北京100049 2.中国科学院光电技术研究所,成都610209 3.电子科技大学物理学院,成都611731 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘文静[1,2,3],庞辉[1],曹阿秀[1],等. 高衍射效率连续面形分束器的设计与制备[J]. 光子学报,2019,48(7):9-16. |
| APA | 刘文静[1,2,3].,庞辉[1].,曹阿秀[1].,吴育娟[1].,史立芳[1].,...&邓启凌[1].(2019).高衍射效率连续面形分束器的设计与制备.光子学报,48(7),9-16. |
| MLA | 刘文静[1,2,3],et al."高衍射效率连续面形分束器的设计与制备".光子学报 48.7(2019):9-16. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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