光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范真涛[1,2,3]; 汤媛媛[1,2]; 魏凯[1,2]; 陈颖[4]; 张雨东[1,2] |
| 刊名 | 光电工程
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| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 46期号:12页码:1-9 |
| 关键词 | 测量 光源 光谱仪 光谱椭偏仪 偏振相关系数 |
| DOI | 10.12086/oee.2019.180507 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 光谱椭偏测量技术已广泛应用于材料科学、微电子、物理化学和生物医学等领域。在光谱椭偏测量系统中,由于起偏器和检偏器存在漏光等瑕疵,光源子系统的偏振度和光谱仪子系统的偏振敏感度会影响光谱椭偏系统的测量精度。针对这一问题,本文建立了光谱椭偏测量系统的偏振相关系数的修正模型;并提出了一种同时测量光源子系统和光谱仪子系统偏振相关系数的方法。利用现有实验室内的宽带光源系统和宽带光谱仪验证了这种测量方法的可行性。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9843]  |
| 专题 | 光电技术研究所_自适应光学技术研究室（八室） |
| 作者单位 | 1.中国人民解放军61046部队,北京100000 2.中国科学院自适应光学重点实验室,四川成都610209 3.中国科学院光电技术研究所,四川成都610209 4.中国科学院大学,北京100049 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范真涛[1,2,3],汤媛媛[1,2],魏凯[1,2],等. 光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量[J]. 光电工程,2019,46(12):1-9. |
| APA | 范真涛[1,2,3],汤媛媛[1,2],魏凯[1,2],陈颖[4],&张雨东[1,2].(2019).光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量.光电工程,46(12),1-9. |
| MLA | 范真涛[1,2,3],et al."光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量".光电工程 46.12(2019):1-9. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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