大口径细光束自准直测量系统误差的实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姚明; 王劼 |
| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 41期号:03页码:426-431 |
| 关键词 | 自准直系统 细光束 误差分析 实验研究 线性关系 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 目前的商用自准直仪并不满足纳米光学测量仪(NOM)利用细光束进行测量的要求,大口径细光束模式下的自准直测量系统存在各种误差。为了满足自准直测量系统的高精度要求,根据自准直测量原理,对大口径细光束自准直测量系统中CCD阵面与f-theta透镜焦平面不重合引入的误差进行了归纳分析,并通过相关实验对误差的线性关系进行了验证,结果证明理论计算与实验结果具有良好的一致性。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/32552]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 作者单位 | 1.中国科学院上海应用物理研究所; 2.中国科学院上海高等研究院 3.中国科学院大学; |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚明,王劼. 大口径细光束自准直测量系统误差的实验研究[J]. 半导体光电,2020,41(03):426-431. |
| APA | 姚明,&王劼.(2020).大口径细光束自准直测量系统误差的实验研究.半导体光电,41(03),426-431. |
| MLA | 姚明,et al."大口径细光束自准直测量系统误差的实验研究".半导体光电 41.03(2020):426-431. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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