博士学位论文-基于原子层沉积的薄膜材料的二次电子发射特性研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 温凯乐 |
| 答辩日期 | 2020-05-20 |
| 文献子类 | 理学博士 |
| 授予单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 导师 | 王贻芳 ; 刘术林 |
| 学位专业 | 粒子物理与原子核物理 |
| 其他题名 | Study on the Secondary Electron Characteristics of Thin Film Materials Based on Atomic Layer Deposition |
| 语种 | 中文 |
| 页码 | 138 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/288119]  |
| 专题 | 实验物理中心_学位论文和出站报告 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 温凯乐. 博士学位论文-基于原子层沉积的薄膜材料的二次电子发射特性研究[D]. 中国科学院高能物理研究所. 2020. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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