大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯钟潮; 郭良; 梁勇; 韩健; 侯万良; 宁小光 |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 1992 |
| 卷号 | 28.0期号:008页码:B351-B355 |
| 关键词 | Si3N4膜 组织结构 硬度 耐磨 LCVD |
| ISSN号 | 0412-1961 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:937076 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/143873]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯钟潮,郭良,梁勇,等. 大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织[J]. 金属学报,1992,28.0(008):B351-B355. |
| APA | 冯钟潮,郭良,梁勇,韩健,侯万良,&宁小光.(1992).大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织.金属学报,28.0(008),B351-B355. |
| MLA | 冯钟潮,et al."大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织".金属学报 28.0.008(1992):B351-B355. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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