磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 詹倩; 贺连龙; 李斗星 |
| 刊名 | 电子显微学报
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 21.0期号:005页码:645-646 |
| 关键词 | 磁控溅射 Fe－N薄膜 微结构 磁学性能 晶粒尺寸 厚度 透射电镜 磁头 |
| ISSN号 | 1000-6281 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:980962 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/147467]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 詹倩,贺连龙,李斗星. 磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究[J]. 电子显微学报,2002,21.0(005):645-646. |
| APA | 詹倩,贺连龙,&李斗星.(2002).磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究.电子显微学报,21.0(005),645-646. |
| MLA | 詹倩,et al."磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究".电子显微学报 21.0.005(2002):645-646. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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