喷墨打印制备的SnO2薄膜的气敏特性
文献类型:期刊论文
作者 | 沈文锋; 赵岩; 张彩碚 |
刊名 | 传感器技术
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出版日期 | 2003 |
卷号 | 22.0期号:1.0页码:5-8 |
关键词 | 喷墨打印 制备 SnO2薄膜 气敏特性 二氧化锡 气敏薄膜 |
ISSN号 | 1000-9787 |
英文摘要 | 简介了喷墨打印制备薄膜技术的优势与特点,配制了SnO2前驱溶液墨水,并利用该技术在金叉指氧化铝基片上喷镀SnO2前驱溶液墨水,而制得了SnO2气敏薄膜元件。利用XRD分析了SnO2薄膜的晶体结构。通过控制喷打墨水的次数,方便地控制了最终薄膜的厚度。并初步探讨了喷墨打印次数对最终薄膜元件性能的影响。当薄膜只喷打一次时,具有极高的电阻值,而且灵敏度比较低。而随着喷打次数的增加,即薄膜厚度的提高,薄膜电阻也随之降低,并对乙醇具有较好的气敏性能。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1355070 |
源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/149020] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈文锋,赵岩,张彩碚. 喷墨打印制备的SnO2薄膜的气敏特性[J]. 传感器技术,2003,22.0(1.0):5-8. |
APA | 沈文锋,赵岩,&张彩碚.(2003).喷墨打印制备的SnO2薄膜的气敏特性.传感器技术,22.0(1.0),5-8. |
MLA | 沈文锋,et al."喷墨打印制备的SnO2薄膜的气敏特性".传感器技术 22.0.1.0(2003):5-8. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
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