Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为
文献类型：期刊论文
| 作者 | AWAGENDRISTEL; 黄荣芳; HBANGERT; 杨霞; 吴立航; 王海峰; HPANGRATZ; PSKALICKY |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 1992 |
| 卷号 | 28.0期号:007页码:B316-B322 |
| 关键词 | Ti－N多层膜 显微结构 压痕 |
| ISSN号 | 0412-1961 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:937087 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/149852]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | AWAGENDRISTEL,黄荣芳,HBANGERT,等. Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为[J]. 金属学报,1992,28.0(007):B316-B322. |
| APA | AWAGENDRISTEL.,黄荣芳.,HBANGERT.,杨霞.,吴立航.,...&PSKALICKY.(1992).Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为.金属学报,28.0(007),B316-B322. |
| MLA | AWAGENDRISTEL,et al."Ti—N多层膜的显微结构和压痕行为".金属学报 28.0.007(1992):B316-B322. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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