流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体
文献类型：期刊论文
| 作者 | 桑元2; 向茂乔2; 宋淼2; 朱庆山2 |
| 刊名 | 化工学报
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| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 71.0期号:006页码:2743 |
| 关键词 | 流化床化学气相沉积 氮化钛 粉体 化学计量比 |
| ISSN号 | 0438-1157 |
| 英文摘要 | 传统气-固反应工艺制备TiN粉体存在难以逾越的内扩散控制过程,导致制备高纯、正化学计量比的TiN粉体至今存在巨大困难。提出了流态化化学气相沉积工艺(FBCVD)制备高质量TiN粉体,即基于TiCl4-N2-H2体系,在往复运动的TiN种子粉体上沉积新生高质量TiN粉体的新方法。实验发现,当TiN种子粉体粒径大于52.95μm时,即使在1000℃沉积2 h也不会失流,同时在TiN种子粉体上获得了亚微米级的结节状新生TiN颗粒。通过氧氮分析仪和XRD分析发现,新方法显著提升了粉体的氮含量,获得了近化学计量比的TiN0.96,且氧含量下降了约40%。此外,流化床中气相沉积TiN的生长模式为岛状生长模式,为工业中制备高质量TiN粉体提供了一种新的方法。 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/47482]  |
| 专题 | 中国科学院过程工程研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学 2.中国科学院过程工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 桑元,向茂乔,宋淼,等. 流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体[J]. 化工学报,2020,71.0(006):2743. |
| APA | 桑元,向茂乔,宋淼,&朱庆山.(2020).流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体.化工学报,71.0(006),2743. |
| MLA | 桑元,et al."流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体".化工学报 71.0.006(2020):2743. |
入库方式： OAI收割
来源：过程工程研究所
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