本发明公开了一种镍基合金的表面钝化处理方法，其包括以下步骤，将镍基合金进行前处理和干燥后，用氟氩混合气体进行表面钝化处理；所述表面钝化处理分为四个阶段进行。采用本发明提供的镍基合金表面钝化处理方法，在镍基合金表面获得了金黄色钝化层；该钝化层附着力好、均匀且致密，能在常温至600℃下耐受氟气、氟化氢等强腐蚀性气体，增加了镍基合金材料的抗腐蚀性，从而延长了镍基合金材料的使用寿命。