本实用新型涉及一种气体净化装置，包括依次设置的惰性气体钢瓶、冷阱和真空腔体，其中，惰性气体钢瓶中储存有惰性气体，真空腔体内设置有设备，冷阱由容置于液氮瓶中的铜盘管形成，液氮瓶中承载有液氮，惰性气体钢瓶与铜盘管通过第一充气气路连通，铜盘管与真空腔体通过第二充气气路连通。本实用新型通过冷阱的设置，可以去除惰性气体中的杂质，例如油脂类分子等，从而达到保护真空腔体内的设备的目的。而且，本实用新型的气体净化装置结构简单、操作简便，而且成本低廉。