中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
一种长程光学表面面形检测系统

文献类型:专利

作者彭川黔; 何玉梅; 王劼
发表日期2016-08-24
专利号CN205505989U
著作权人中国科学院上海应用物理研究所
国家中国
文献子类实用新型
英文摘要

本实用新型提供一种长程光学表面面形检测系统,包括移动光学头和f-θ角度检测系统,所述移动光学头包括尾纤以及形成等效五棱镜的分束镜和凹面镜,其中,所述移动光学头设置为通过所述尾纤将输入的光束出射,以使所述光束透过所述分束镜后入射到待测光学器件的表面上,再经所述待测光学器件的表面反射回所述分束镜,并通过所述分束镜将部分反射回的所述光束反射到所述凹面镜,并通过所述凹面镜沿垂直于所述待测光学器件表面对应测量点的法线的方向反射至所述f-θ角度检测系统,以在所述f-θ角度检测系统中形成测量光斑。本实用新型减少了引入误差的反射、透射光学器件的数目,并减少了测量不同角度时测量光束横移引入的系统误差,提高了测量精度。

公开日期2016-08-24
申请日期2016-02-24
语种中文
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33683]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年
推荐引用方式
GB/T 7714
彭川黔,何玉梅,王劼. 一种长程光学表面面形检测系统. CN205505989U. 2016-08-24.

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。