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一种原位测试样品平台

文献类型:专利

作者朱大明; 李晓龙; 刘春泽; 顾月良; 阴广志; 高兴宇; 黎忠
发表日期2015-03-25
专利号CN104458780A
著作权人中国科学院上海应用物理研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供一种原位测试样品平台,包括:样品台;样品台底座,其安装在所述样品台的下表面;用于承载样品的陶瓷加热片,其内部设有电热丝和热电偶;加热片支撑架,其支撑所述陶瓷加热片以使其悬空设置在所述样品台上方;温度控制系统,其连接至所述电热丝和所述热电偶,以实时控制所述陶瓷加热片的温度;以及循环水冷系统,其固定连接至所述样品台的下表面,以对所述样品台进行冷却。本发明能够以在线的方式对样品的升温、高温热处理和降温过程进行原位测试,并且由于温度控制系统和循环水冷系统互不影响,能够在保证循环水冷系统正常工作的条件下,使样品台温度不至于太高,并且不影响陶瓷加热片正常高温工作。

公开日期2015-03-25
申请日期2014-12-09
语种中文
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33792]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年
推荐引用方式
GB/T 7714
朱大明,李晓龙,刘春泽,等. 一种原位测试样品平台. CN104458780A. 2015-03-25.

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

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