一种金属凹印版激光制造方法及系统
文献类型：专利
| 作者 | 李明; 谭羽; 李珣 |
| 发表日期 | 2021-03-19 |
| 专利号 | CN202010231091.5 |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种金属凹印版激光制造方法及系统，其具有版纹深度误差可控、大幅面图案制造精度高以及制造过程对凹印版基板寿命影响小等优点。该方法主要步骤为：1、标定单层图案不同深度与激光加工参数的对应关系；2、版纹结构分层，得到单层扫描图案；3、凹印版基板位置校准及激光器出射光束焦点位置校准；4、单层扫描图案的轨迹规划；5、第一层图案加工制造；6、重复步骤5，直至版纹结构加工完成。 |
| 公开日期 | 2021-03-19 |
| 申请日期 | 2020-03-27 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95194]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李明,谭羽,李珣. 一种金属凹印版激光制造方法及系统. CN202010231091.5. 2021-03-19. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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