一种螺旋扫描激光加工装置及加工方法
文献类型：专利
| 作者 | 李明; 江浩; 田新锋
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| 发表日期 | 2020-07-22 |
| 专利号 | CN202010712505.6 |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种螺旋扫描激光加工装置及加工方法，解决现有激光加工装置存在微孔锥度调节精度低、加工孔径小以及加工效率低的问题。该螺旋扫描激光加工装置包括沿光路依次设置的位移反射镜、道威棱镜、上偏转光楔、下偏转光楔和聚焦镜；上偏转光楔、下偏转光楔背对背设置，中心轴与道威棱镜的中心轴同轴；激光束通过位移反射镜实现微孔锥度调节后入射至道威棱镜，道威棱镜提高激光束的扫描速度后将其入射至上偏转光楔和下偏转光楔，上偏转光楔及下偏转光楔对光束进行偏折，实现不同直径的光束扫描，聚焦镜将激光束聚焦，从而实现微孔的螺旋扫描加工。本发明装置和方法提高了激光加工装置微孔加工时的加工精度和加工效率。 |
| 公开日期 | 2020-12-01 |
| 申请日期 | 2020-07-22 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95422]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李明,江浩,田新锋. 一种螺旋扫描激光加工装置及加工方法. CN202010712505.6. 2020-07-22. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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