Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法
文献类型：专利
| 作者 | 贾昕胤; 孙剑; 郝雄波; 张智南 ; 李思远; 刘学斌
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| 发表日期 | 2020-03-31 |
| 专利号 | CN202010240879.2 |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板；右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧；Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面，且其抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间；垂直安装板安装在水平安装板的后侧，且其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔；离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧，且其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽；垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装。 |
| 公开日期 | 2020-08-14 |
| 申请日期 | 2020-03-31 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95306]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_光学影像学习与分析中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾昕胤,孙剑,郝雄波,等. Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法. CN202010240879.2. 2020-03-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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