现场测量薄膜残余应力的T-型结构
文献类型：期刊论文
| 作者 | 徐方迁; 徐联; 何世堂 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 11期号:4页码:38 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| 源URL | [http://159.226.59.140/handle/311008/3617]  |
| 专题 | 历年期刊论文_2003年期刊论文 |
| 作者单位 | 中国科学院声学研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐方迁,徐联,何世堂. 现场测量薄膜残余应力的T-型结构[J]. 光学精密工程,2003,11(4):38. |
| APA | 徐方迁,徐联,&何世堂.(2003).现场测量薄膜残余应力的T-型结构.光学精密工程,11(4),38. |
| MLA | 徐方迁,et al."现场测量薄膜残余应力的T-型结构".光学精密工程 11.4(2003):38. |
入库方式： OAI收割
来源：声学研究所
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