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单晶硅电容式低频传声器的设计和制作

文献类型:期刊论文

作者何庆; 索智群; 乔东海
刊名声学技术
出版日期2009
卷号28期号:4页码:127-130
ISSN号1000-3630
其他题名Design and Fabrication of a Low-Frequency Condenser Microphone with a Single-Crystal Silicon Diaphragm
源URL[http://159.226.59.140/handle/311008/7070]  
专题历年期刊论文_2009年期刊论文
作者单位中国科学院声学研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
何庆,索智群,乔东海. 单晶硅电容式低频传声器的设计和制作[J]. 声学技术,2009,28(4):127-130.
APA 何庆,索智群,&乔东海.(2009).单晶硅电容式低频传声器的设计和制作.声学技术,28(4),127-130.
MLA 何庆,et al."单晶硅电容式低频传声器的设计和制作".声学技术 28.4(2009):127-130.

入库方式: OAI收割

来源:声学研究所

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