单晶硅电容式低频传声器的设计和制作
文献类型:期刊论文
作者 | 何庆; 索智群; 乔东海 |
刊名 | 声学技术
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出版日期 | 2009 |
卷号 | 28期号:4页码:127-130 |
ISSN号 | 1000-3630 |
其他题名 | Design and Fabrication of a Low-Frequency Condenser Microphone with a Single-Crystal Silicon Diaphragm |
源URL | [http://159.226.59.140/handle/311008/7070] ![]() |
专题 | 历年期刊论文_2009年期刊论文 |
作者单位 | 中国科学院声学研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 何庆,索智群,乔东海. 单晶硅电容式低频传声器的设计和制作[J]. 声学技术,2009,28(4):127-130. |
APA | 何庆,索智群,&乔东海.(2009).单晶硅电容式低频传声器的设计和制作.声学技术,28(4),127-130. |
MLA | 何庆,et al."单晶硅电容式低频传声器的设计和制作".声学技术 28.4(2009):127-130. |
入库方式: OAI收割
来源:声学研究所
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