掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杜韦陶 ; 宋丽 ; 王玉柱 ; 罗红心 ; 张翼飞 ; 王劼 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 4页码:255-259 |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| 中文摘要 | 在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系。在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散射分布并进行处理,计算出两块反射镜的表面均方根粗糙度(RMS)。与白光干涉法测量结果的比对结果表明,根据这种理论进行数据处理得到的RMS值,与白光干涉法的测量结果非常符合。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-09-11 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12773]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜韦陶,宋丽,王玉柱,等. 掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度[J]. 核技术,2012(4):255-259. |
| APA | 杜韦陶,宋丽,王玉柱,罗红心,张翼飞,&王劼.(2012).掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度.核技术(4),255-259. |
| MLA | 杜韦陶,et al."掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度".核技术 .4(2012):255-259. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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