Conformal coating of parylene for surface anti-adhesion in polydimethylsiloxane (PDMS) double casting technique
文献类型：期刊论文
| 作者 | Chen, Yuanfang ; Pei, Weihua ; Tang, Rongyu ; Chen, Sanyuan ; Chen, Hongda |
| 刊名 | sensors and actuators a-physical
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 189页码:143-150 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2013-09-22 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24398]  |
| 专题 | 半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Chen, Yuanfang,Pei, Weihua,Tang, Rongyu,et al. Conformal coating of parylene for surface anti-adhesion in polydimethylsiloxane (PDMS) double casting technique[J]. sensors and actuators a-physical,2013,189:143-150. |
| APA | Chen, Yuanfang,Pei, Weihua,Tang, Rongyu,Chen, Sanyuan,&Chen, Hongda.(2013).Conformal coating of parylene for surface anti-adhesion in polydimethylsiloxane (PDMS) double casting technique.sensors and actuators a-physical,189,143-150. |
| MLA | Chen, Yuanfang,et al."Conformal coating of parylene for surface anti-adhesion in polydimethylsiloxane (PDMS) double casting technique".sensors and actuators a-physical 189(2013):143-150. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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