中国科学院机构知识库网格系统: 用于碳化硅光学镜面改性与面形提升的磁控溅射扫描方法（授权发明）

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用于碳化硅光学镜面改性与面形提升的磁控溅射扫描方法（授权发明）

文献类型：专利


作者	王晋峰; 黄猛; 田杰; 王烨儒
发表日期	2018-02-12
专利号	ZL201810144019.1
国家	中国
文献子类	发明
学科主题	天文技术与方法
公开日期	2020-01-21
语种	中文
状态	授权
源URL	[http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1741]
专题	专利
作者单位	南京天文光学技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王晋峰,黄猛,田杰,等. 用于碳化硅光学镜面改性与面形提升的磁控溅射扫描方法（授权发明）. ZL201810144019.1. 2018-02-12.

入库方式： OAI收割

来源：南京天文光学技术研究所

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