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一种用于样品表面形貌测量的纳米纤维探针针尖制作方法

文献类型:专利

作者袁泉子; 杨锦鸿; 赵亚溥; 黄先富
发表日期2021-05-07
专利号ZL202010558297.9
著作权人中国科学院力学研究所
国家中国
公开日期2021-05-07
申请日期2020-06-18
语种中文
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/87729]  
专题力学研究所_非线性力学国家重点实验室
作者单位中国科学院力学研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
袁泉子,杨锦鸿,赵亚溥,等. 一种用于样品表面形貌测量的纳米纤维探针针尖制作方法. ZL202010558297.9. 2021-05-07.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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