一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法
文献类型：专利
| 作者 | 夏原 ; 高方圆; 李光
|
| 发表日期 | 2021-12-24 |
| 专利号 | ZL202010227914.7 |
| 著作权人 | 中国科学院力学研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/88139]  |
| 专题 | 力学研究所_先进制造工艺力学重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院力学研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏原,高方圆,李光. 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法. ZL202010227914.7. 2021-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。