The Characteristics and Locking Process of Nonlinear MEMS Gyroscopes
文献类型：期刊论文
| 作者 | Yan Su; Pengfei Xu ; Guowei Han; Chaowei Si ; Jin Ning ; Fuhua Yang |
| 刊名 | MICROMACHINES
 |
| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 11期号:2页码:233 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30537]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Yan Su;Pengfei Xu ; Guowei Han; Chaowei Si ; Jin Ning ; Fuhua Yang. The Characteristics and Locking Process of Nonlinear MEMS Gyroscopes[J]. MICROMACHINES,2020,11(2):233. |
| APA | Yan Su;Pengfei Xu ; Guowei Han; Chaowei Si ; Jin Ning ; Fuhua Yang.(2020).The Characteristics and Locking Process of Nonlinear MEMS Gyroscopes.MICROMACHINES,11(2),233. |
| MLA | Yan Su;Pengfei Xu ; Guowei Han; Chaowei Si ; Jin Ning ; Fuhua Yang."The Characteristics and Locking Process of Nonlinear MEMS Gyroscopes".MICROMACHINES 11.2(2020):233. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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