Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors
文献类型：期刊论文
| 作者 | Peishuai Song; Zhe Ma; Jing Ma; Liangliang Yang; Jiangtao Wei; Yongmei Zhao; Mingliang Zhang; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang |
| 刊名 | MICROMACHINES
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| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 11期号:1页码:56b |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30609]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Peishuai Song;Zhe Ma;Jing Ma;Liangliang Yang;Jiangtao Wei;Yongmei Zhao;Mingliang Zhang;Fuhua Yang ;Xiaodong Wang. Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors[J]. MICROMACHINES,2020,11(1):56b. |
| APA | Peishuai Song;Zhe Ma;Jing Ma;Liangliang Yang;Jiangtao Wei;Yongmei Zhao;Mingliang Zhang;Fuhua Yang ;Xiaodong Wang.(2020).Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors.MICROMACHINES,11(1),56b. |
| MLA | Peishuai Song;Zhe Ma;Jing Ma;Liangliang Yang;Jiangtao Wei;Yongmei Zhao;Mingliang Zhang;Fuhua Yang ;Xiaodong Wang."Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors".MICROMACHINES 11.1(2020):56b. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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