一种薄膜样品全自动裁切方法与装置
文献类型：专利
| 作者 | 花昌义 ; 李志刚; 叶超; 王善锋; 孙淼; 吴浩; 吴晓松; 张龙; 刘勇
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| 发表日期 | 2021-03-02 |
| 专利号 | ZL201910879174.2 |
| 著作权人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 ; 合肥众沃仪器技术有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 |
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| 申请日期 | 2019-09-18 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 已授权 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/126053]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院安徽光学精密机械研究所 |
| 作者单位 | 1.合肥众沃仪器技术有限公司 2.中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 花昌义,李志刚,叶超,等. 一种薄膜样品全自动裁切方法与装置. ZL201910879174.2. 2021-03-02. |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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