一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法
文献类型：专利
| 作者 | 强鹏飞; 盛立志 ; 杨向辉; 闫永清; 刘哲; 李林森; 周晓红; 赵宝升
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| 发表日期 | 2020-12-16 |
| 专利号 | CN202011490623.3 |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法，解决现有多束、大视场电子光学系统的像差性能无法满足要求的问题。该成像系统包括依次设置的电子源、加速电极阵列、单透镜和物镜；电子源用于发出多束电子，多束电子的电位从中心向外依次减小；加速电极阵列位于电子源下方，包括多个加速电极，用于对电子源出射的电子进行等能量加速；单透镜、物镜处于加速电极下方，将加速后的电子聚焦并以固定缩放比成像至靶面处。本发明系统中，出射的电子经加速电极加速后，外围电子因具有较大动能，从而能有效减少其在电子光学系统中的飞行时间，从而保证处于不同位置的电子受到空间电荷效应影响一致，保证大视场电子光学系统的低像差性能。 |
| 公开日期 | 2021-04-13 |
| 申请日期 | 2020-12-16 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95518]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_光电子学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 强鹏飞,盛立志,杨向辉,等. 一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法. CN202011490623.3. 2020-12-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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