过滤电弧沉积TiN、ZrN和TiN／CrN多层纳米薄膜的性能比较
文献类型：会议论文
| 作者 | 曹尔妍
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| 出版日期 | 2002 |
| 会议名称 | 第七届全国摩擦学大会 |
| 会议日期 | 2002 |
| 会议地点 | 甘肃兰州 |
| 页码 | 153-156 |
| 通讯作者 | 李成明 |
| 中文摘要 | 用过滤电弧离子镀(FAMIP)技术在高速钢基体上沉积了TiN、ZrN单层薄膜和TiN／CrN多层纳米薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜及其划痕的表面形貌;用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜的相组成,结合显微探针仪、划痕试验机、金相显微镜和钻床,研究了金属陶瓷单层和多层纳米薄膜的性能并进行比较。研究结果表明:3种薄膜的临界载荷值均大于80N,多层纳米薄膜的耐磨性明显优于2种单层薄膜。 |
| 会议录 | 第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）.科学出版社,2002,p.153-156
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| 会议录出版者 | 科学出版社 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/34712]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹尔妍. 过滤电弧沉积TiN、ZrN和TiN／CrN多层纳米薄膜的性能比较[C]. 见:第七届全国摩擦学大会. 甘肃兰州. 2002. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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