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离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究

文献类型:期刊论文

作者张心明; 徐鑫莉; 蔡鹏; 于阳; 赵立新
刊名光学精密工程
出版日期2018
期号07页码:1719-1727
关键词离心熔铸 非球面镜镜胚 工艺 面形偏差 迭代补偿
英文摘要离心熔铸技术在大口径非球面镜镜胚的制造方面具有独特优势。本文通过自行研制的缩比模型实验机进行试验,深入研究了离心熔铸工艺及成型镜胚质量,详细介绍了模具涂层的制备、离心熔铸的加热及冷却等工艺过程,制备了非球面镜镜胚模型。采用数值模拟与试验研究相结合的方法,对所得镜胚面形偏差工艺参数的敏感性进行了研究。分析了模具的热膨胀系数、镜胚冷却速率、直径及加热温度对面形偏差的影响,得到了偏差工艺参数的敏感性规律。通过对面形偏差进行两次迭代补偿,面形偏差值从-84μm降到33μm,补偿后的结果满足设计要求。采用离心熔铸技术,可以制备满足上表面垂直偏差在30~40μm范围内的非球面镜镜胚。
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61437]  
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张心明,徐鑫莉,蔡鹏,等. 离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究[J]. 光学精密工程,2018(07):1719-1727.
APA 张心明,徐鑫莉,蔡鹏,于阳,&赵立新.(2018).离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究.光学精密工程(07),1719-1727.
MLA 张心明,et al."离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究".光学精密工程 .07(2018):1719-1727.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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