X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张亚超; 刘鹏 ; 王晓光; 何玲平; 陈波
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| 刊名 | 中国光学
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| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 12期号:03页码:587-595 |
| 关键词 | 表面散射 粗糙度 功率谱密度 掠入射望远镜 |
| 英文摘要 | 研究X射线散射法在软X射线掠入射望远镜反射镜的表面粗糙度测量中的应用。首先,在光滑表面近似和细光束条件下,根据Harvey-Shack表面散射理论得出反射镜的面形仅影响总反射光分布中的镜向部分,对散射部分的影响可以忽略不计;然后设计了X射线散射法测量Wolter-I型软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度的实验方案,并且对引起系统误差的主要因素进行了分析,确定了进行仿真实验时的参数;最后用Zemax对实验方案进行了仿真。在空间频率高于28/mm时,表面粗糙度的仿真测量结果与真值吻合得非常好。本文研究结果显示:在光滑表面近似和细光束条件下,反射镜的面形仅影响表面粗糙度的低频部分的测量准确性,对高频部分测量准确性的影响可以忽略不计,利用X射线散射法可以准确测量软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63644]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张亚超,刘鹏,王晓光,等. X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）[J]. 中国光学,2019,12(03):587-595. |
| APA | 张亚超,刘鹏,王晓光,何玲平,&陈波.(2019).X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）.中国光学,12(03),587-595. |
| MLA | 张亚超,et al."X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）".中国光学 12.03(2019):587-595. |
入库方式： OAI收割
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