本发明涉及一种化合物氟硼酸钡和氟硼酸钡非线性光学晶体及制备方法和用途，该化合物的化学式为BaBOF₃，分子量为221.15，采用固相合成法或真空封装法制成；该晶体的化学式为BaBOF₃，分子量为221.15，属于单斜晶系，空间群为P2₁，晶胞参数为a=4.6145(17)Å，b=4.3671(16)Å，c=7.905(3)Å，β=105.519(6)°，单胞体积为153.49(10)ų，晶体的粉末倍频效应约为KH₂PO₄(KDP)的1.0倍，紫外吸收边短于190 nm，采用熔体法，高温熔液法，真空封装法，水热法或室温溶液法生长晶体，该晶体的化学稳定性好，可作为紫外、深紫外非线性光学晶体在全固态激光器中获得应用。