本发明涉及一种化合物三氟化五硼酸钡及三氟化五硼酸钡非线性光学晶体及制备方法和用途，该化合物的化学式为BaB₅O₇F₃，分子量为360.373，采用固相反应法制备；该晶体的化学式为BaB₅O₇F₃，分子量为360.373，晶体属正交晶系，空间群Cmc2₁，晶胞参数为a=10.201(3)Å，b=8.794(3)(4)Å，c=8.253(5)Å,Z=4。通过该方法获得尺寸为厘米级的BaB₅O₇F₃非线性光学晶体，在制备Nd:YAG激光器所输出的1064 nm的基频光进行2倍频或3倍频或4倍频或5倍频或6倍频的谐波光输出或产生低于200nm的深紫外倍频光输出的用途或制备倍频发生器、上或下频率转换器或光参量振荡器中的用途。该BaB₅O₇F₃非线性光学晶体具有较宽的透光波段，物化性能稳定，机械硬度大，不易碎裂和潮解，易于切割、抛光加工和保存等优点。