A discussion on mass resolution in secondary ion mass spectrometry
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhanping Li; Lixia Zhao; Bing Xiong; Runlong Fan; Dunyi Liu; Liangzhen Cha |
| 刊名 | SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS
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| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 52期号:5页码:249-255 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30704]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电子研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhanping Li;Lixia Zhao;Bing Xiong;Runlong Fan;Dunyi Liu;Liangzhen Cha;. A discussion on mass resolution in secondary ion mass spectrometry[J]. SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS,2020,52(5):249-255. |
| APA | Zhanping Li;Lixia Zhao;Bing Xiong;Runlong Fan;Dunyi Liu;Liangzhen Cha;.(2020).A discussion on mass resolution in secondary ion mass spectrometry.SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS,52(5),249-255. |
| MLA | Zhanping Li;Lixia Zhao;Bing Xiong;Runlong Fan;Dunyi Liu;Liangzhen Cha;."A discussion on mass resolution in secondary ion mass spectrometry".SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 52.5(2020):249-255. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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