金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李敏2 ; 杨黎2; 陈建军2; 陈波2; 王宏彬2; 吴安东1; 叶宗标2; 芶富均2; 韦建军2
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| 刊名 | 四川大学学报. 自然科学版
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| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 57期号:6页码:1147-1151 |
| 关键词 | Plasma cleaning Online monitoring Work function Residual gas 等离子体清洗 在线监测 功函数 残余气体 |
| ISSN号 | 0490-6756 |
| 英文摘要 | 超导铌腔的碳氢污染问题导致铌表面的功函数下降,引起场致发射,使超导腔的加速梯度恶化,运行一段时间后必须对其碳氢污染进行清洗才能保证正常使用.针对众多清洗装置用等离子体清洗后无法对其清洗效果进行准确、及时地判断从而控制清洗截止点,而采用离线测试又会造成一定的二次污染的问题,本文提出了基于静电四极等离子体(Electrostatic Quadrupole Plasma,EQP)质谱分析仪及开尔文探针的等离子体清洗及在线监测装置,成功地将等离子体清洗与残余气体监测集成并投入使用.实验过程中,通过在线监测清洗的副产物及功函数的变化,证明了电感耦合等离子体源产生的密度为${10^{16}} \sim {10^{17}}{{\rm\;{m}}^{ - 3}}$的氩、氧混合等离子体,能有效清除铌样品表面的碳氢污染,并对铌表面进行一定的氧化改性,将功函数由4.0eV提升至5.3eV左右. |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6858148 |
| 源URL | [http://119.78.100.186/handle/113462/137991]  |
| 专题 | 中国科学院近代物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院近代物理研究所 2.四川大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李敏,杨黎,陈建军,等. 金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究[J]. 四川大学学报. 自然科学版,2020,57(6):1147-1151. |
| APA | 李敏.,杨黎.,陈建军.,陈波.,王宏彬.,...&韦建军.(2020).金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究.四川大学学报. 自然科学版,57(6),1147-1151. |
| MLA | 李敏,et al."金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究".四川大学学报. 自然科学版 57.6(2020):1147-1151. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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