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快重离子辐照金红石型TiO_2的肿胀效应及化学蚀刻行为研究

文献类型:期刊论文

作者罗捷; 孙友梅; 侯明东; 段敬来; 常海龙; 刘杰
刊名原子核物理评论
出版日期2011
卷号28.0期号:003页码:326-331
关键词TiO2 辐照肿胀 化学蚀刻 电子能损
ISSN号1007-4627
其他题名Swelling Phenomenon and Eatching Property of Rutile TiO_2 Irradiated by Swift Heavy Ions
英文摘要二氧化钛(Titatium Dioxide,简称TiO2)晶体在中能重离子辐照时表面会出现肿胀效应,肿胀高度与入射离子的电子能损和辐照注量有关。辐照后的TiO2在一定条件下能够被氢氟酸溶液化学蚀刻,化学蚀刻的电子能损阈值为8.2 keV/nm,未辐照TiO2呈现几乎零蚀刻率。要达到饱和蚀刻深度,辐照离子的注量必须大于或等于1×1013ions/cm2。采用离子辐照的潜径迹理论分析研究了辐照损伤及对化学蚀刻的影响,快重离子辐照结合化学蚀刻是制备TiO2微结构的有效方法。
语种中文
CSCD记录号CSCD:4317560
源URL[http://119.78.100.186/handle/113462/138836]  
专题中国科学院近代物理研究所
作者单位中国科学院近代物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
罗捷,孙友梅,侯明东,等. 快重离子辐照金红石型TiO_2的肿胀效应及化学蚀刻行为研究[J]. 原子核物理评论,2011,28.0(003):326-331.
APA 罗捷,孙友梅,侯明东,段敬来,常海龙,&刘杰.(2011).快重离子辐照金红石型TiO_2的肿胀效应及化学蚀刻行为研究.原子核物理评论,28.0(003),326-331.
MLA 罗捷,et al."快重离子辐照金红石型TiO_2的肿胀效应及化学蚀刻行为研究".原子核物理评论 28.0.003(2011):326-331.

入库方式: OAI收割

来源:近代物理研究所

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