磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 郑华 ; 刘实 ; 于洪波 ; 朱跃进 ; 王隆保 ; 施力群 ; 刘超卓 |
| 出版日期 | 2004-06-15 |
| 会议名称 | 中国核学会核材料专业分会2004年学术交流会 |
| 会议日期 | 2004-06-15 |
| 会议地点 | 上海 |
| 关键词 | 磁控溅射 Ti膜 氦 热解吸 合金膜 |
| 中文摘要 | 本文采用He/Ar复合气氛下磁控溅射方法,在Ti、TiZrYAl和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦-金属比)高达0.19的氦.引入的氦在膜层内沿深度均匀分布,并主要存在于直径为2～5nm的高压He泡内.热解吸实验表明,在相同He含量下,TiHe膜中He的解吸峰温度与氚化钛中衰变产生的3He的解吸峰温度基本一致.与纯钛相比,合金膜中氦的热解吸谱宽化明显,表明He在合金膜内的捕获形式更为复杂. |
| 会议主办者 | 中国核学会 |
| 会议录 | 原子能科学技术
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/70361]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑华,刘实,于洪波,等. 磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究[C]. 见:中国核学会核材料专业分会2004年学术交流会. 上海. 2004-06-15. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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