Batch Fabrication of Wear-Resistant and Conductive Probe with PtSi Tip
文献类型:期刊论文
作者 | Liu, Meijie; Zhu, Yinfang; Zhao, Junyuan; Wang, Lihao; Yang, Jinling; Yang, Fuhua |
刊名 | MICROMACHINES |
出版日期 | 2021 |
卷号 | 12期号:11页码:1326 |
公开日期 | 2021 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30838] |
专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu, Meijie; Zhu, Yinfang; Zhao, Junyuan; Wang, Lihao; Yang, Jinling; Yang, Fuhua. Batch Fabrication of Wear-Resistant and Conductive Probe with PtSi Tip[J]. MICROMACHINES,2021,12(11):1326. |
APA | Liu, Meijie; Zhu, Yinfang; Zhao, Junyuan; Wang, Lihao; Yang, Jinling; Yang, Fuhua.(2021).Batch Fabrication of Wear-Resistant and Conductive Probe with PtSi Tip.MICROMACHINES,12(11),1326. |
MLA | Liu, Meijie; Zhu, Yinfang; Zhao, Junyuan; Wang, Lihao; Yang, Jinling; Yang, Fuhua."Batch Fabrication of Wear-Resistant and Conductive Probe with PtSi Tip".MICROMACHINES 12.11(2021):1326. |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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