ZRO Drift Reduction of MEMS Gyroscopes via Internal and Packaging Stress Release
文献类型：期刊论文
| 作者 | Xu, Pengfei; Wei, Zhenyu; Jia, Lu; Zhao, Yongmei; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua |
| 刊名 | MICROMACHINES
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| 出版日期 | 2021 |
| 卷号 | 12期号:11页码:1329 |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2021 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30853]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xu, Pengfei; Wei, Zhenyu; Jia, Lu; Zhao, Yongmei; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua. ZRO Drift Reduction of MEMS Gyroscopes via Internal and Packaging Stress Release[J]. MICROMACHINES,2021,12(11):1329. |
| APA | Xu, Pengfei; Wei, Zhenyu; Jia, Lu; Zhao, Yongmei; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua.(2021).ZRO Drift Reduction of MEMS Gyroscopes via Internal and Packaging Stress Release.MICROMACHINES,12(11),1329. |
| MLA | Xu, Pengfei; Wei, Zhenyu; Jia, Lu; Zhao, Yongmei; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua."ZRO Drift Reduction of MEMS Gyroscopes via Internal and Packaging Stress Release".MICROMACHINES 12.11(2021):1329. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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