Modular Nanopositioning Flexure Stages Development for APS Upgrade K-B Mirror Nanofocusing Optics
文献类型：会议论文
| 作者 | D. Shu; J.W.J. Anton; L. Assoufid; S.J. Bean; D. Capatina; V. De Andrade; E.M. Dufresne; T. Graber; R. Harder; D. Haskel |
| 出版日期 | 2021 |
| 会议日期 | 2021 |
| 会议地点 | Chicago |
| 会议录 | Proceedings of the 11th International Conference on Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation
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| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/292683]  |
| 专题 | 学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_MEDSI |
| 作者单位 | ANL, Lemont, Illinois, USA |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | D. Shu,J.W.J. Anton,L. Assoufid,et al. Modular Nanopositioning Flexure Stages Development for APS Upgrade K-B Mirror Nanofocusing Optics[C]. 见:. Chicago. 2021. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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