O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许文举; 鞠鹏飞; 李红轩 ; 吉利; 刘晓红; 陈建敏
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| 刊名 | 中国表面工程
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| 出版日期 | 2020-06 |
| 卷号 | 33期号:5页码:65-74 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.licp.cn/handle/362003/28151]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许文举,鞠鹏飞,李红轩,等. O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响[J]. 中国表面工程,2020,33(5):65-74. |
| APA | 许文举,鞠鹏飞,李红轩,吉利,刘晓红,&陈建敏.(2020).O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响.中国表面工程,33(5),65-74. |
| MLA | 许文举,et al."O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响".中国表面工程 33.5(2020):65-74. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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