超高线密度多层膜闪耀光栅的同步辐射软X射线研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 骆钧尧 |
| 答辩日期 | 2021 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所) |
| 导师 | 郭智 |
| 关键词 | X射线光学 同步辐射 多层膜闪耀光栅 衍射效率 |
| 英文摘要 | 随着我国同步辐射的快速发展,急需发展各种相关的光学器件。光栅是真空紫外和软X射线波段的重要分光元件,光栅的品质关系到光束线的光通量和能量分辨率。多层膜闪耀光栅是一种以闪耀光栅为基底,在其基础上镀制多层膜的层状光栅,多层膜光栅有望能够改进常用的平面光栅单色器,理论上能够提高单色器的能量覆盖范围、提高分辨率并减小单色器尺寸。波长计量学是表征光栅性能的重要工具,由于上海同步辐射光源没有建设软X射线计量线站,为了能够测试多层膜闪耀光栅的衍射效率并研究多层膜闪耀光栅的衍射性能,开展了如下工作:(1)标量理论只适用于入射光正入射光栅并且入射光波长远小于光栅常数的情况,对于软X射线波段的多层膜闪耀光栅不再适用。因此选择经典的微分算法对多层膜闪耀光栅的衍射效率进行计算,微分算法是一种矢量算法,是对傅里叶空间中麦克斯韦方程组的严格求解。通过计算,对W/Si多层膜闪耀光栅的衍射特性从理论上进行了分析,相比于常规光栅,由于多层膜的作用,多层膜闪耀光栅的衍射效率取决于入射角的大小。(2)基于现有的光束线站和扫描透射X射线显微实验装置,研制了小型化的、方便安装拆卸的光栅效率检测装置。装置包括光栅调节、探测器调节、数据采集等系统,可实现多层膜闪耀光栅的衍射效率的快速检测。使用SHADOW软件对光束进行追迹,证明了实验方案的可行性。(3)对多层膜闪耀光栅样品进行测试,测试结果表明多层膜闪耀光栅的衍射效率符合理论仿真的衍射规律,光子能量为502 eV的入射光入射下+1级次的衍射效率为0.52%。为了分析影响光栅衍射效率的因素,通过扫描透射电子显微镜和原子力显微镜测试光栅的截面和表面结构,分析了光栅的结构缺陷对光栅衍射效率的影响。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33900]  |
| 专题 | 中科院上海应用物理研究所2021-2022年 |
| 作者单位 | 1.中国科学院上海应用物理研究所 2.中国科学院大学; |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 骆钧尧. 超高线密度多层膜闪耀光栅的同步辐射软X射线研究[D]. 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所). 2021. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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