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压电陶瓷致动器纳米级位移融合测量系统、方法和装置

文献类型:专利

作者杜章铭; 周超; 王硕; 邓赛; 张甜露; 程龙; 谭民
发表日期2020-10-16
专利号ZL201910478437.9
著作权人中国科学院自动化研究所
国家中华人民共和国
文献子类发明专利
产权排序1
申请日期2019-06-03
语种中文
状态已授权
源URL[http://ir.ia.ac.cn/handle/173211/48466]  
专题自动化研究所_复杂系统管理与控制国家重点实验室_先进机器人控制团队
作者单位中国科学院自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
杜章铭,周超,王硕,等. 压电陶瓷致动器纳米级位移融合测量系统、方法和装置. ZL201910478437.9. 2020-10-16.

入库方式: OAI收割

来源:自动化研究所

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