用于激光解键合的光束整形技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王珊
|
| 答辩日期 | 2022 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 杨小君 |
| 关键词 | 光束整形 平顶光束 非球面透镜 液晶空间光调制器 相位灰度图 |
| 语种 | 中文 |
| 页码 | 92 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95944]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_研究生部 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王珊. 用于激光解键合的光束整形技术研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2022. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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