非零位拼接检测凸非球面金属反射镜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 蔡志华; 王孝坤 ; 胡海翔; 曾雪锋; 王晶
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| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2021 |
| 卷号 | 50期号:11页码:278-283 |
| 英文摘要 | 随着单点金刚石车削技术和抛光技术的发展,实现了金属反射镜的快速高效低成本制造。然而,金属反射镜的检测手段存在明显不足,尤其是没有一种快速、高效的检测手段用于检测凸非球面金属反射镜。为提高凸非球面金属反射镜的检测效率,提出一种非零位拼接检测凸非球面金属反射镜的检测方法。结合工程实例,对口径为120 mm,顶点曲率半径R为1 121.586 mm,二次曲线常数K为-2.38的凸非球面金属反射镜进行了拼接检测实验,拼接所得面形误差均方根值(RMS)为0.016λ(λ=632.8 nm)。与Luphoscan检测结果对比,验证了非零位拼接检测方法的检测精度RMS为0.007λ,结果表明该方法能够实现凸非球面金属反射镜的快速、高效检测。 |
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| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/65995]  |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡志华,王孝坤,胡海翔,等. 非零位拼接检测凸非球面金属反射镜[J]. 红外与激光工程,2021,50(11):278-283. |
| APA | 蔡志华,王孝坤,胡海翔,曾雪锋,&王晶.(2021).非零位拼接检测凸非球面金属反射镜.红外与激光工程,50(11),278-283. |
| MLA | 蔡志华,et al."非零位拼接检测凸非球面金属反射镜".红外与激光工程 50.11(2021):278-283. |
入库方式： OAI收割
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