模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制
文献类型:期刊论文
作者 | 付秀华; 王海峰![]() |
刊名 | 光学学报
![]() |
出版日期 | 2021-10-25 |
卷号 | 41期号:20页码:238-247 |
英文摘要 | 为满足红外探测系统无热化、高质量成像的需求,在非球面硫系玻璃基底制备3.7~4.8μm波段增透膜。根据试验要求选取黏结层材料,提高基板与薄膜之间的附着力;利用有限元分析法通过多物理场仿真软件,将温度场与热应力场相结合建立三维模型,分析非球面薄膜的应力分布情况。根据模拟结果对沉积工艺进行优化,采用温度梯度烘烤法降低硫系玻璃基底的热应力,并采用真空原位退火法释放沉积薄膜的应力,解决非球面镜的脱膜问题。所制备的薄膜可以通过MIL-C-48497A标准中的附着力、湿度、中度摩擦等测试,并在3.7~4.8μm波段的平均透过率为99.12%,满足红外探测系统的指标要求。 |
URL标识 | 查看原文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66096] ![]() |
专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.长春理工大学机电工程学院 3.长春理工大学光电工程学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 付秀华,王海峰,张静,等. 模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制[J]. 光学学报,2021,41(20):238-247. |
APA | 付秀华.,王海峰.,张静.,张功.,任仲举.,...&杨飞.(2021).模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制.光学学报,41(20),238-247. |
MLA | 付秀华,et al."模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制".光学学报 41.20(2021):238-247. |
入库方式: OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。